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                      六溫區(qū)管式爐
                  
    
                    
                
    
              
           
            
    
            
    
              
    
                
    六溫區(qū)管式爐
    
                
    產(chǎn)品型號:多溫區(qū)管式爐
    
                
    負責(zé)人:周貝貝
     
                
    QQ:707171058
    
                
    手機:13526881466
    
                
                
              
    
            
    
          
    
          
    
            
    產(chǎn)品詳情
    
            
    
              
    設(shè)備簡介：
    多溫區(qū)CVD系統(tǒng)一體爐，供氣和真空系統(tǒng)靈活組合，滿足各類薄膜沉積，是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用為廣泛的用來沉積薄膜材料的技術(shù)，包括大面積的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。成套的CVD鍍膜系統(tǒng)，適用于各大高校材料實驗室、科研院所、環(huán)保科學(xué)等領(lǐng)域。 
    配置詳情：


    20220831094320_17610.jpg


    1.采用高純石英或不銹鋼材質(zhì)爐管，耐腐蝕耐高溫；
    2.高純度Al2O3纖維耐火保溫材料，降低設(shè)備功耗；
    3.爐體采用雙層風(fēng)冷結(jié)構(gòu)工藝，自動抬升系統(tǒng)開啟上蓋；
    4.燒結(jié)工藝曲線設(shè)置：動態(tài)顯示設(shè)置曲線，設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設(shè)置；
    5、可預(yù)約燒結(jié)，實現(xiàn)無人值守?zé)Y(jié)工藝曲線燒結(jié)；
    6、實時顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù)，并可導(dǎo)出實現(xiàn)無紙記錄；
    7、具有實現(xiàn)遠程操控，實時觀測設(shè)備狀態(tài)；
    8、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結(jié)全程進行非線性修正 
    9.一體化設(shè)備包含多路供氣系統(tǒng)，多溫區(qū)加熱系統(tǒng)和高真空系統(tǒng)；
    產(chǎn)品溫區(qū)
    六溫區(qū)
    爐管尺寸
    ?25/?50/?60/?80/?100*1600mm
    工作溫度
    ≤1150℃
    加熱區(qū)選擇
    (可定制）
    200mm*6
    300mm*6
    升溫速率
    ≤20℃/s
    電氣規(guī)格
    AC380V 12~18KW
    氣體系統(tǒng)（可選購）
    浮子或質(zhì)子
       
      
         管道示意圖


     
    進氣接口數(shù)量
    2、3、4（多路可選）
    流量范圍
    20-250/20-800ml/min......(多量程可選)
    50/100/200/500sccm......(多量程可選)
    工作壓差范圍
    0-0.15MPa
    低真空系統(tǒng)（可選購）
    真空泵型號
    NBD-3C/NBD-4C
    抽氣速率
    3L/s或4L/s
    進排氣口尺寸
    KF16/25
    系統(tǒng)真空
    3~5Pa（真空泵真空6.2*10-2Pa）
    工作環(huán)境溫度
    5-40℃
    電氣規(guī)格
    AC220V
    高真空系統(tǒng)（可選購）
    真空泵型號
    NBD-103(A)
    NBD-103(B)
    抽氣速率
    110L/s
    600L/s
    真空測量計
    復(fù)合真空計
    系統(tǒng)真空
    4.310^-3Pa
    6*10^-4Pa
    工作溫度
    5-40℃

    電氣規(guī)格
    AC 220V
    AC 380V



                
    
          
    
           
    
                
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