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                      DS300C質(zhì)量流量控制器
                  
    
                    
                
    
              
           
            
    
            
    
              
    
                
    DS300C質(zhì)量流量控制器
    
                
    產(chǎn)品型號(hào):DS300C
    
                
    負(fù)責(zé)人:張雅麗
     
                
    QQ:827928594
    
                
    手機(jī):13937153969
    
                
                
              
    
            
    
          
    
          
    
            
    產(chǎn)品詳情
    
            
    
              
    DS300C質(zhì)量流量控制器
    DS300壓力式氣體質(zhì)量流量控制器是針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)開發(fā)的一款適用于半導(dǎo)體裝備的氣體質(zhì)量流量控制器，用于半導(dǎo)體器件的刻蝕、濺射等工藝。DS300采用基于壓力原理的流量傳感器技術(shù)和高精度壓電閥控制技術(shù)使產(chǎn)品具有零漂小，精度高，響應(yīng)速度快，壓力不敏感的特點(diǎn)，產(chǎn)品suo有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬，金屬表面狀況符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的要求。
    優(yōu)勢
    ? 控制精度高，精度可達(dá)±1.0% S.P.(≥10%F.S.)。
    ? 響應(yīng)速度快，響應(yīng)時(shí)間≤ 0.5sec。
    ? 采用基于壓力原理的流量傳感器技術(shù)，使產(chǎn)品具有壓力不敏感特性，能夠適用較大的氣源壓力波動(dòng)。
    ? DS300采用有效的機(jī)械加工技術(shù)與表面處理技術(shù)解決深小孔不能或者很難電拋光(EP)的難題，實(shí)現(xiàn)孔徑相對(duì)較小(孔徑<1mm)、深徑比相對(duì)較大(>10)的不銹鋼小孔、深盲孔以及交叉孔的表面電化學(xué)拋光處理，完全符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)要求。
    技術(shù)參數(shù)
    DS300C
    類型
    DS300C
    閥類型
    常閉
    流量規(guī)格(N2)
    (0～30,50,100,200,300,500)  SCCM
    (0～1,2,3,5,10)            SLM
    準(zhǔn)確度
    ±1% S.P. (≥10% F.S.)       
    ±1% F.S. (＜10% F.S.)       
    線性
    ±0.5% F.S.
    重復(fù)精度
    ±0.2% F.S.
    響應(yīng)時(shí)間
    ≤ 0.5sec            
    進(jìn)口壓力
    240～450KPa 流量規(guī)格≤5SLM
    350～450KPa  流量規(guī)格＞5SLM
    出口壓力
    ≤1.2KPa    流量規(guī)格≤5SLM
    ≤13.3KPa  流量規(guī)格＞5SLM
    溫度系數(shù)
    零點(diǎn)：≤±0.02% F.S./℃；
    調(diào)節(jié)時(shí)：≤±0.1% F.S./℃
    耐壓
    3 MPa
    漏率
    1×10-11 Pa·m3 / sec He
    密封材料
    金屬密封
    z大工作壓力
    0.45MPa
    工作環(huán)境溫度
    （10～45）℃
    輸入信號(hào)
    數(shù)字：RS485 或 DeviceNet
    模擬：(0～5)VDC
    輸出信號(hào)
    數(shù)字：RS485 或 DeviceNet  
    模擬：(0～5)VDC
    零漂
    在沒有零點(diǎn)校正時(shí)＜0.6%F.S./年
    電源
    ±8～±16 VDC (雙極) 或 +14～+28 VDC (單極)
    表面化學(xué)成分
    Cr/Fe比例≥2.0；
    CrO 厚度≥20 （埃）
    表面粗糙度
    Ra  5μinch
    標(biāo)準(zhǔn)接頭形式
    VCR1/4陽接頭；
    1.125″C型密封接頭；
    1.125″W型密封接頭；
    Compression Fittingφ6
    電源接頭形式
    D型9針陽接頭；
    D型15針陽接頭；
    DeviceNet接頭
    重量
    1.2Kg

                
    
          
    
           
    
                
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